企业概要
我们专注于真空工艺控制产品，包括质量流量控制器（MFC）、电容薄膜压力规、四极杆质谱仪、真空规与真空泵等，并提供成套工艺集成与应用支持。
我们的核心产品与技术应用
面向沉积、清洗与化学品输送等工序，提供气体与液体的精确计量、直接注入、气化及多原理流量测量方案。
从腔室与管路压力/真空检测，到调节阀、专用背压与变送环节，支撑刻蚀、CVD、传送等工步的工艺环境稳定。
真空获得与干泵路线、密封性较好的连接、泵组维护与工艺终点检测，共同助力维持产线节拍、腔室洁净度与可复制工艺窗口。