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为半导体、显示、光伏等行业提供精密真空工艺解决方案

压力控制阀

GT900

GT900

新一代集成控制器的一体式压力控制阀阀

  • 控制模式:自学习、PID、位置
  • 控制精度:设定值的0.1%
  • 速度(全开至全关):小于0.3秒
  • 蝶阀口径:25 ~ 1000 mm
  • 法兰:ISO, NW, CF, ANSI(ASA), JIS 等
  • 蝶阀阀片形式:单片/对折/多折可选
  • 阀体/阀片加热:可选,高至150°C
  • 通讯:RS-232/RS-485/ DeviceNet/EtherCAT
GT800

GT800

集成控制器的一体式压力控制阀

  • 控制模式:自学习、PID、位置
  • 控制重复性:满量程的0.1%
  • 速度(全开至全关):小于1秒
  • 蝶阀口径:25 ~ 1000 mm
  • 法兰:ISO, NW, CF, ANSI(ASA), JIS 等
  • 蝶阀阀片形式:单片/对折/多折可选
  • 阀体/阀片加热:可选,高至150°C
  • 通讯:模拟/RS-232/RS-485/ DeviceNet/Ethernet/EtherCAT
GT700

GT700

GT-700 分体式压力控制阀及控制器

  • 控制模式:自学习、PID、位置
  • 控制重复性:满量程的0.1%
  • 速度(全开至全关):小于1秒
  • 蝶阀口径:25 ~ 1000 mm
  • 法兰:ISO, NW, CF, ANSI(ASA), JIS 等
  • 蝶阀阀片形式:单片/对折/多折可选
  • 阀体/阀片加热:可选,高至150°C
  • 通讯:模拟/RS-232/RS-485/ DeviceNet/EtherCAT
GMAV

GMAV

具有真空隔离功能的压力控制角阀

  • 控制模式:自学习、PID、位置
  • 控制重复性:满量程的0.1%
  • 蝶阀口径:40,50,100
  • 法兰:ISO-K, NW
  • 关闭状态漏率:<10-9 (Torr l/s)阀体/
  • 材质:铝合金或不锈钢
  • 通讯:模拟/RS-232/RS-485/ DeviceNet/EtherCAT
GCV 压力控制系统

GCV 压力控制系统

压力控制节流阀与真空隔离插板阀组合

  • 法兰口径:40 ~ 160 ISO-F
  • 压力范围:1X10-8 mbar 至 1.2 bar
  • 漏率:1X10-9 mbar.l/sec
  • 插板阀材料:304不锈钢
  • 插板阀开启最大压力差:30mbar (22Torr)
  • 蝶阀材料:304不锈钢或铝
  • 通讯:模拟/RS-232/RS-485/ DeviceNet/EtherCAT
  • 可选用多片式阀板以节省空间
GGV 直推式插板阀

GGV 直推式插板阀

  • 法兰口径:DN40 ~ 160
  • 漏率:1X10-9 mbarl/s (面对面) 1X10-9 mbarl/s (外漏)
  • 压力范围:1X10-8 mbar 至 1.6 bar
  • 插板阀开启最大压力差: 30mbar
  • 插板阀开启最大压力差: 1.6bar
  • 材质:铝合金
GGV 连杆式插板阀

GGV 连杆式插板阀

  • 法兰口径:DN40 ~ 630
  • 漏率:1X10-9 mbarl/s (面对面) 1X10-9 mbarl/s (外漏)
  • 压力范围:1X10-8 mbar 至 1.6 bar (DN63~200)
  • 插板阀开启最大压力差: 30mbar
  • 插板阀开启最大压力差: 1.6bar (DN63~200)
  • 材料:304不锈钢
  • 运动密封:波纹密封,304L不锈钢
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