液态源汽化传递系统
MV-2000
混合注入系统液体汽化器
- 使用螺旋流加热方法实现稳定的低温汽化
- 大流量汽化（增加稳定性数据）
- 可汽化易热解的液体源
VC系列
直接液体注入系统
- 尺寸紧凑
- 可安装在各种位置
- 畅销的 TEOS 汽化系统
- 结合 SEF 或 LF，可实现数字控制
- 无需特殊鼓泡罐或汽化罐
- DeviceNetTM 型产品系列
- 符合 RoHS 标准
LF-F
数字式液体质量流量计
- 提供微升至超低流量控制
- 实现低沸点和高粘度液体材料的精确流量控制
- 超洁净设计
- 流量范围：0.02 - 100 g/min
- 测量范围：5 – 100%
- 精度：±1% FS
LV-F
数字式液体质量流量控制器
- 提供微升至超低流量控制
- 实现低沸点和高粘度液体材料的精确流量控制
- 超洁净设计
- 流量范围：0.02 - 100 g/min
- 测量范围：5 – 100%
- 精度：1% FS