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为半导体、显示、光伏等行业提供精密真空工艺解决方案

质量流量控制器

D700MG

D700MG

超快响应压力不敏感 质量流量控制器

  • 超洁净设计
  • 流量满量程: 10 sccm = 50 slm
  • 精度: ≤±1% SP, (流量≥5%FS） ≤±0.05% FS, (流量<5%FS）
  • 重复性*≤±0.3%SP (流量≥5%）
  • 控制范围*: 0.2-100% FS
  • 响应时间: ≤0.1秒
  • 通讯模式: 模拟/RS=485. DeviceNet, EtherCAT
  • 低阀座泄漏（<0.02%FS 或 <0.015 sccm)
  • 高耐腐蚀性设计
D700T

D700T

高性能压力不敏感 质量流量控制器

  • 超洁净设计
  • 精度: ≤±0.8% SP, (流量≥10%FS） ≤±0.08% FS, (流量<10%FS）
  • 重复性*≤±0.15%SP (流量≥10%）
  • 控制范围*: 0.2-100% FS
  • 上升时间: ≤0.1秒
  • 下降时间: ≤0.5秒
  • 通讯模式: EtherCAT
  • 低阀座泄漏（<0.02%FS 或 <0.015 sccm)
  • 高耐腐蚀性设计
D700uF

D700uF

微流量压力不敏感 质量流量控制器

  • 超洁净设计
  • 流量满量程: O2 5 sccm，(其它气体和量程请咨询)
  • 精度*: ≤±1% SP, (流量≥10%FS） ≤±0.1% FS, (流量<10%FS）
  • 重复性*≤±0.25%SP (流量≥10%）
  • 控制范围*: 0.5-100% FS
  • 上升时间: ≤0.1秒
  • 通讯模式: EtherCAT
  • 低阀座泄漏（<0.015 sccm)
  • 高耐腐蚀性设计
D700WG

D700WG

超宽范围压力不敏感 质量流量控制器

  • 超洁净设计
  • 精度: ≤±1% SP, (流量≥2.5%FS） ≤±0.025% FS, (流量<2.5%FS）
  • 重复性*≤±0.3%SP (流量≥5%）
  • 控制范围*: 0.1-100% FS
  • 上升时间: ≤0.5秒
  • 下降时间: ≤3秒
  • 通讯模式: EtherCAT
  • 低阀座泄漏（<0.025%FS)
  • 高耐腐蚀性设计
D500 压力不敏感

D500 压力不敏感

质量流量控制器

  • 超洁净设计
  • 流量满量程: 10 sccm = 50 slm
  • 精度: ≤±1% SP, (流量≥5%FS） ≤±0.05% FS, (流量<5%FS）
  • 重复性*≤±0.3%SP (流量≥5%）
  • 控制范围*: 0.2-100% FS
  • 响应时间: ≤0.8秒
  • 通讯模式: 模拟/RS=485. DeviceNet, EtherCAT
  • 低阀座泄漏（<0.02%FS)
  • 高耐腐蚀性设计
SEC-Z700S 系列

SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

  • 多气体/多量程功能
  • 稳定控制气流，压力不敏感
  • 超洁净设计
  • 流量满量程: 30 sccm – 200 slm
  • 精度*: ≤±1% SP, (流量≥5%FS） ≤±0.05% FS, (流量<5%FS）
  • 重复性*≤±0.15% SP (流量≥5%）
  • 控制范围*: 0.5-100% FS
  • 可调响应*: 300ms≤t≤1000ms
  • 通讯模式: 模拟/RS485, DNet, ECAT
  • 低阀座泄漏（≤0.1% 满量程/#01-#06）
  • 高耐腐蚀性设计
SEC-Z500 系列

SEC-Z500 系列

多量程/多气体质量流量控制器

  • 多气体/多量程功能
  • 超洁净设计
  • 流量满量程: 10 sccm – 500 slm
  • 精度*: ≤±1% SP, (流量≥25%FS） ≤±0.25% FS, (流量<25%FS）
  • 重复性*≤±0.2% FS
  • 控制范围*: 2-100% FS
  • 响应速度*: ≤1秒
  • 通讯模式: 模拟/RS485, DNet, ECAT
  • 高耐腐蚀性设计
SEC-N100 系列

SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

  • 多气体/多量程功能
  • 金属或橡胶密封
  • 流量满量程: 10 sccm – 1000 slm
  • 精度*: ≤±1% SP, (流量≥30%FS） ≤±0.3% FS, (流量<35%FS）
  • 重复性*≤±0.2% FS
  • 控制范围*: 2-100% FS
  • 响应速度*: ≤1秒
  • 通讯模式: 模拟/RS485, DNet, ECAT, PROFIBUS, CC-Link
SEC-8000 系列

SEC-8000 系列

高温质量流量控制器

  • 最高工作温度可达120°C
  • 测量单元与控制单元分离设计
  • 流量满量程: 5 sccm – 150 slm
  • 精度*: ≤±1% SP, (流量≥30%FS） ≤±0.3% FS, (流量<35%FS）
  • 重复性*≤±0.2% FS
  • 控制范围*: 2-100% FS
  • 响应速度*: ≤1秒
  • 通讯模式: 模拟/RS485, DNet, ECAT
S600 系列

S600 系列

通用质量流量控制器

  • 通用应用设计
  • 金属或橡胶密封
  • 流量满量程: 10 sccm – 500 slm
  • 精度*: ≤±1% SP, (流量≥30%FS） ≤±0.3% FS, (流量<35%FS）
  • 重复性*≤±0.2% FS
  • 控制范围*: 2-100% FS
  • 响应速度*: ≤1.5秒
  • 通讯模式: 模拟/RS485, DNet, ECAT, PROFIBUS
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