干式真空泵
XD系列
真空设备
- 泵抽速：1,200 ~ 6,000 ㎥/hr1, 20.000 ~ 30,000 LPM
- 极限压力: ≤ 5.0 x 10-3 ~ 7.5 x 10-3Torr ≤ 6.6 x 10-1 ~ 9.9 x 10-1Pa
HD系列
CVD等苛刻工艺
- 泵抽速： 120 ~ 9,000 ㎥/hr 2,000 ~ 150,000 LPM
- 极限压力: ≤ 5.0 x 10-3 ~ 3.0 x 10-2 Torr ≤ 6.6 x 10-1 ~ 4.0Pa
RD系列
真空设备/Load Lock腔
- 泵抽速： 180 ~ 3,600 ㎥/hr 3,000 ~ 60,000 LPM
- 极限压力: ≤ 5.0 x 10-3 ~ 5.0 x 10-2 Torr ≤ 6.6 x 10-1 ~ 6.6Pa
DD系列
CVD/ALD等苛刻工艺
- 泵抽速： 100 ~ 6,000 ㎥/hr 1,700 ~ 100,000 LPM
- 极限压力: ≤ 5.0 x 10-3 Torr ≤ 6.6 x 10-1 Pa