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为半导体、显示、光伏等行业提供精密真空工艺解决方案
四极杆质谱仪
QL系列
四极杆质谱仪(残余气体分析仪)
极其紧凑的体积与轻巧重量:与传统残余气体分析仪相比,体积仅为 1/20 th ,便于集成到任何系统中
高性能:由 9 个四极杆组成的微型阵列在体积仅为传统四极杆一小部分的情况下提供出色的灵敏度
高压运行:可在高达 0.9 帕(7 毫托,9 x 10 -3 毫巴)的条件下使用,从而在许多应用中减少或消除昂贵的真空抽气设备
可互换的传感器(已校准):传感器在发货前已完成预调试和校准,用户在现场更换传感器时无需进行精细调试或具备专业技术知识
网络传感器:通过 RS-485,单台电脑最多可监控八个传感器。也可通过外部 I/O 实现无电脑扫描操作
用户友好软件:Micropole Scanner™ 2 软件允许用户以多种模式监控气体的分压,例如趋势图、谱图、柱状图
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