产品中心

IR-432

IR-400用于腔室清洗终点检测的红外气体分析仪

• 减少腔室清洗时间以提高产能
• 减少清洗气体的使用以降低生产成本
• 清洗工艺可重复和可预测以提高良率
• 避免过度清洗，延长工艺腔室部件寿命

IR-422

IR-400用于腔室清洗终点检测的红外气体分析仪

• 减少腔室清洗时间以提高产能
• 减少清洗气体的使用以降低生产成本
• 清洗工艺可重复和可预测以提高良率
• 避免过度清洗，延长工艺腔室部件寿命

IR-300

气化浓度检测仪

• 优化工艺控制，生产更多高质量设备
• 提高设备良率，减少废品
• 提高可重复性
• 了解何时需要更换起泡器
• 延长平均修复时间（MTTA）
• 减少有价值的前体浪费