压力控制器
R600 系列
自动压力控制器
- 压力控制范围：10-300 kPa(A)
- 精度：满量程的 ± 0.5%
- 通讯：模拟/RS-485, 模拟0-5VDC
- 电源：±15V 或 +24V
- 上游压力控制或下游压力控制
UR-Z700 系列
数字自动压力控制器
- 压力控制范围：表压 20-950 kPa 或 10-500 kPa 绝对压力 10-300 kPa
- 精度：满量程的 ± 0.5%
- 通讯：模拟/RS-485, 模拟0-5VDC 或DeviceNet或EtherCAT
- 电源：±15V（模拟/RS-485） +24V（DeviceNet及EtherCAT）
- 上游压力控制或下游压力控制
GR-300 系列
硅片背面冷却系统 带流量监测的压力控制器
- 压力测量满量程：100 Torr 或更高
- 压力精度：满量程的 ±0.5%
- 流量测量满量程：20/50/100 sccm
- 流量测量精度： 读数值的± 1%，流量>满量程的25% 满量程的± 0.25%，流量≤满量程的25%
- 响应时间： ≤1秒
- 通讯：模拟/RS-485（ 模拟：0-10V压力信号；0-5V流量信号） 或DeviceNet 或 EtherCAT
- 电源：±15V（模拟/RS-485） +24V（DeviceNet及EtherCAT）
GR-500F
硅片背面冷却系统 带流量监测的压力控制器
- 压力测量满量程：10/20/50 Torr
- 压力精度：满量程的 ± 0.5%
- 流量测量满量程：20/50/100 sccm
- 流量测量精度： 读数值的±1%，流量>满量程的25% 满量程的±0.25%，流量满量程的25%
- 响应时间： ≤1秒