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为半导体、显示、光伏等行业提供精密真空工艺解决方案

PPS/真空泵清洁

PPS (Plasma Pretreatment System）等离子体预处理系统

PPS (Plasma Pretreatment System）等离子体预处理系统

PPS安装于真空泵的入口端，功能与优点：

安全处理有毒/易燃气体
分解并排出副产品
分解并排出副产品
延长泵的平均故障间隔时间（降低维护成本）

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